景通顯微鏡報(bào)價(jià)網(wǎng)友情提示：
由于該產(chǎn)品已進(jìn)行多次功能升級(jí)和更新迭代，我們不保證CM120BD研究級(jí)12寸大平臺(tái)半導(dǎo)體芯片晶圓檢查L(zhǎng)CD檢查金相顯微鏡提供的圖片和各項(xiàng)參數(shù)等信息均為最新，我們建議您點(diǎn)擊此處聯(lián)系我們的在線工程師為您服務(wù)，同時(shí)我們也歡迎您電話咨詢：!
產(chǎn)品概述
研究級(jí)12寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應(yīng)用于芯片/晶圓/LCD，粒子爆破檢查等行業(yè)使用。采用半復(fù)消技術(shù)，集明場(chǎng)，暗場(chǎng)及偏光等多種照明方式，任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美。用戶可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇，是工業(yè)檢測(cè)的有效工具。特別是針對(duì)線路板切片測(cè)量，晶圓檢測(cè)，金相材料，高分子材料等尺寸較大的樣器進(jìn)行分析檢測(cè)，本機(jī)配備了偏振系統(tǒng)可做偏光檢測(cè)，在半導(dǎo)體和PCB檢測(cè)中，可消除雜光，細(xì)節(jié)更加清晰。同時(shí)可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡，可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，大幅提高圖像對(duì)比度，特別適合觀察導(dǎo)電粒子。
性能特點(diǎn)
1、采用明暗場(chǎng)半復(fù)消物鏡，成像清晰。
2、配置12寸大平臺(tái)，帶快速移動(dòng)裝置。
3、配置有偏光裝置，適合觀察高反光材料的表面；
顯微鏡參數(shù)
|
序號(hào) |
名稱 |
技術(shù)參數(shù) |
|
1 |
平場(chǎng)目鏡 |
正像大場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm |
|
2 |
物鏡 |
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購(gòu)） 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購(gòu)） |
|
3 |
光學(xué)放大倍數(shù) |
50X-500X（選購(gòu)100倍物鏡后放大倍數(shù)25-1000X） |
|
4 |
數(shù)碼放大倍數(shù) |
75-3000X(搭配1200萬(wàn)相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下) |
|
5 |
觀察頭 |
鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 |
|
6 |
轉(zhuǎn)換器 |
5孔明暗場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）. |
|
7 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 |
|
8 |
載物臺(tái) |
12英寸載物臺(tái)，平臺(tái)面積?760*430mm，玻璃臺(tái)面310*418mm，移動(dòng)行程：300mmX300mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置 |
|
9 |
晶圓轉(zhuǎn)臺(tái) |
12寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺(tái)（選購(gòu)） |
|
10 |
偏光組件 |
起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
|
11 |
反射照明系統(tǒng) |
明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心 |
|
13 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
|
14 |
攝像接口 |
0.65倍專用攝像接口 |
|
15 |
干涉組件 |
諾曼爾斯基微分干涉片（選購(gòu)） |
|
16 |
高清1200萬(wàn)顯微相機(jī) 或2000萬(wàn)像素或自動(dòng)對(duì)焦相機(jī)（選購(gòu)） |
|
|
17 |
圖像處理軟件 |
拍照，錄像，測(cè)量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購(gòu)） |
|
18 |
標(biāo)尺 |
高精度型測(cè)微尺，格值0.01m 總長(zhǎng)1mm（選購(gòu)） |