掃描隧道顯微鏡的英文縮寫(xiě)是STM。這是20世紀(jì)80年代初期呈現(xiàn)的一種新型表面剖析工具。其基礎(chǔ)原理是基于量子力學(xué)的隧道效應(yīng)和三維掃描。它是用一個(gè)極細(xì)的尖針（針尖頭部為單個(gè)原子）往接近樣品表面，當(dāng)針尖和樣品表面靠得很近，即小于1納米時(shí)，針尖頭部的原子和樣品表面原子的電子云產(chǎn)生重疊。此時(shí)若在針尖和樣品之間加上一個(gè)偏壓，電子便會(huì)穿過(guò)針尖和樣品之間的勢(shì)壘而形成納安級(jí)（10ˉ9 A）的隧道電流。通過(guò)把持針尖與樣品表面間距的恒定，并使針尖沿表面進(jìn)行準(zhǔn)確的三維移動(dòng)，就可將表面形貌和表面電子態(tài)等有關(guān)表面信息記載下來(lái)。
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