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掃描探針顯微鏡簡述

掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡AFM,激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM等等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設(shè)計和加工、自動控制技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學技術(shù)、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。

掃描探針顯微鏡以其分辨率極高（原子級分辨率）、實時、實空間、原位成像，對樣品無特殊要求（不受其導電性、干燥度、形狀、硬度、純度等限制）、可在大氣、常溫環(huán)境甚至是溶液中成像、同時具備納米操縱及加工功能、系統(tǒng)及配套相對簡單、廉價等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于納米科技、材料科學、物理、化學和生命科學等領(lǐng)域，并取得許多重要成果。