德國(guó)學(xué)者賓尼格和瑞士學(xué)者羅雷爾于1982年制作勝利的“掃描隧道顯微鏡”，放大倍數(shù)可達(dá)3億倍。
普通光學(xué)顯微鏡通過進(jìn)步和改良透鏡的性能，使放大率到達(dá)1000—1500倍左右，但一直末超過2000倍，顯微鏡價(jià)格。這是由于普通光學(xué)顯微鏡的放大才能受光的波長(zhǎng)的限制。光學(xué)顯微鏡是應(yīng)用光線來看物體，為了看到物體，物體的尺寸就必需大于光的波長(zhǎng)，否則光就會(huì) “繞”過往。理論研討成果表明，普通光學(xué)顯微鏡的辨別本事不超過0。02微米，有人采取波長(zhǎng)比可見光更短的紫外線，放大才能也不過再進(jìn)步一倍左右。
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