皮博迪，馬薩諸塞州，2011年2月7日，卡爾蔡司公司今天宣布，它已獲得了2260萬(wàn)美元的合同，開(kāi)發(fā)一定的納米制造，其革命性的ORION™氣田離子源（GFIS）技術(shù)為基礎(chǔ)的成像應(yīng)用。該合同被授予總部設(shè)在美國(guó)的卡爾蔡司國(guó)稅廳，LLC情報(bào)高級(jí)研究計(jì)劃活動(dòng)（IARPA）根據(jù)電路分析工具（CAT）的計(jì)劃。
CAT方案是著眼于解決在納米制造和成像的挑戰(zhàn)與電路分析，現(xiàn)有的技術(shù)到22nm節(jié)點(diǎn)及以后有沒(méi)有明確的進(jìn)化路徑。納米制造的CAT方案的重點(diǎn)是集中在集成電路通過(guò)使用精確的沉積和去除技術(shù)，可以減少和/或創(chuàng)建新的連接電氣行為的修改。
“卡爾蔡司國(guó)稅廳有限責(zé)任公司總裁IARPA已明確確定了關(guān)鍵的分析儀器的發(fā)展在納米結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和加工的快速進(jìn)步卻沒(méi)有跟上步伐的關(guān)鍵挑戰(zhàn)，麥吉說(shuō)：”丹，。 “卡爾蔡司”帶電粒子束技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者和創(chuàng)新者的地位，肯定了此批出合約，我們期待著解決這些IARPA的挑戰(zhàn)和全球納米制造業(yè)大。“
從卡爾蔡司GFIS技術(shù)提供了在現(xiàn)有的Zui先進(jìn)的國(guó)家在會(huì)議上先進(jìn)的納米制造要求的顯著效益。高亮度，惰性離子種類分納米探針提供的能力來(lái)執(zhí)行的準(zhǔn)確，精確和控制在非常小的特點(diǎn)，在高密度組件（分10納米）的編輯。低側(cè)束擴(kuò)散將導(dǎo)致更緊，更好地確定存款的幾何形狀。此外，卡爾蔡司“的獨(dú)特GFIS技術(shù)使無(wú)殘留的金屬污染，相對(duì)于傳統(tǒng)的GA - FIB技術(shù)優(yōu)越的納米圖形的保真度。
這份合同是由賴特帕特森空軍基地的美國(guó)空軍研究實(shí)驗(yàn)室，贊助和管理。
關(guān)于GFIS技術(shù)
氣場(chǎng)離子源（GFIS）技術(shù)，使用了惰性氣體，如氦離子，而不是通常用掃描電子顯微鏡（SEM），產(chǎn)生Seite 2和模式的超高分辨率圖像和納米結(jié)構(gòu)的電子掃描束。光束是由原子銳利尖端和探測(cè)的結(jié)果，令人難以置信的高亮度（> 5X109 A/cm2-sr 30KeV）和極低的能量分布（<1EV），可以集中到一個(gè)非常小的點(diǎn)（<0.35納米）。獨(dú)特的氦離子束與樣品相互作用動(dòng)力學(xué)，使在不同領(lǐng)域的納米技術(shù)，材料和生物科學(xué)，納米加工應(yīng)用。獵戶座氦離子顯微鏡從卡爾蔡司是第一個(gè)商業(yè)化產(chǎn)品的基礎(chǔ)上GFIS技術(shù)，正被廣泛用于各種應(yīng)用在工業(yè)界和學(xué)術(shù)界的許多研究實(shí)驗(yàn)室。
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