掃描隧道顯微鏡亦稱為“掃描穿隧式顯微鏡”、“隧道掃描顯微鏡”，是一種應(yīng)用量子理論中的隧道效應(yīng)探測物資表面構(gòu)造的儀器。它于1981年由格爾德·賓寧（G．Binning）及海因里希·羅雷爾（H．Rohrer）在IBM位于瑞士蘇黎世的蘇黎世試驗室創(chuàng)造，兩位發(fā)現(xiàn)者因此與恩斯特·魯斯卡分享了1986年諾貝爾物理學(xué)獎。
它作為一種掃描探針顯微術(shù)工具，掃描隧道顯微鏡可以讓科學(xué)家察看和定位單個原子，它具有比它的同類原子力顯微鏡更加高的辨別率。此外，掃描隧道顯微鏡在低溫下（4K）可以應(yīng)用探針尖端準(zhǔn)確把持原子，因此它在納米科技既是主要的丈量工具又是加工工具。
STM使人類第一次能夠?qū)崟r地察看單個原子在物資表面的排列狀況和與表面電子行動有關(guān)的物化性質(zhì)，在表面科學(xué)、資料科學(xué)、性命科學(xué)等范疇的研討中有側(cè)重大的意義和普遍的利用遠(yuǎn)景，被國際科學(xué)界公以為20世紀(jì)80年代世界十大科技成績之一。
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