Dimension VX200/300 自動(dòng)化原子力顯微鏡
The Dimension Vx200/300原子力輪廓儀結(jié)合了原子力顯微鏡的原理以及輪廓儀所具有的長掃描性能，提供了Zui高性能的輪廓測(cè)量和原子力顯微術(shù)的應(yīng)用。它所提供的非破壞性的輪廓儀可為CMP的控制和表征，并可以對(duì)200mm和300mm晶片基體進(jìn)行高深寬比的深度測(cè)量。這個(gè)半自動(dòng)的平臺(tái)如果加以適當(dāng)?shù)呐渲每梢詰?yīng)用于測(cè)量不同的樣品，包括：晶片，其中包括晶片，磁頭，方形基片。
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