InSight 3D AFM 自動化原子力顯微鏡
InSight 3D Atomic Force Microscope (AFM)具有無與倫比的精確度和精密度，同時它又是一種無損測量，并且能夠做高解析度三維量測，特別適于量測45nm和32nm的半導體晶片的特征尺寸。Veeco新推出的這款產(chǎn)品的測量不確定性極低，所以在微距（CD）測量和邊墻角度(SWA)測量方面有更優(yōu)良的表現(xiàn)，這能夠幫助明顯改善半導體工藝的控制。
這款產(chǎn)品是生產(chǎn)型的精密量測儀器，是各種關(guān)鍵尺寸量測的基準，比如：光刻和高級蝕刻工藝，包括控制極(gate),淺槽隔離(STI),大馬士革結(jié)構(gòu)，邊墻角度(SWA),線邊變化等等。
該系統(tǒng)專為生產(chǎn)而特別設(shè)計和改進，其生產(chǎn)能力和生產(chǎn)效率為今天所有各種AFM中Zui好Zui快的，和以前的AFM相比，生產(chǎn)能力提高3倍，量測的精確度和精密度提高了2倍?？梢哉f該款I(lǐng)nSight 3DAFM提供了一種嶄新的在線三維測量方法。
作為全球第一家提供全自動化原子里顯微鏡(AFM)系統(tǒng)的公司，VEECO將會持續(xù)研發(fā)更為先進的量測技術(shù)，以幫助客戶更快地將產(chǎn)品推向市場，獲得更好的回報，并且減少客戶的成本和消耗，提高產(chǎn)品的合格率！
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