Dimension Vx 210/310 自動化原子力顯微鏡
Dimension Vx 210 AFP 結(jié)合原子力顯微鏡的分辨率、長程掃描能力（達100毫米）、高橫向和縱向分辨率于一體，可以檢測0.25微米級的特征。Dimension Vx 210 系統(tǒng)是化學機械拋光（CMP）過程中進行測量應用的理想工具，適合CMP 過程同時需要長程掃描測量模具的平面性和AFM分辨率成像檢測栓塞和金屬線。原子力輪廓儀可用來對比CMP前后的效果，如凹陷點、腐蝕點、栓塞、步高和平面性。
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